無塵車間的溫度試驗(yàn)包括功能溫度試驗(yàn)和一般溫度試驗(yàn)。無塵室凈化工程中各級空氣清潔度的空氣凈化處理應(yīng)采用初級、中等、空氣過濾器。目前，無塵車間的等級是航空航天航空倉庫，基本上屬于一級，屬于面積相對較小的特殊領(lǐng)域。
此外，生化實(shí)驗(yàn)室和高精度納米材料生產(chǎn)車間也需要更高的水平。物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一個主要方向。凈化工程是指對產(chǎn)品(如硅片等)與大氣的接觸進(jìn)行清潔和溫濕度的控制，使產(chǎn)品能在良好的環(huán)境空間內(nèi)生產(chǎn)、制造。該環(huán)境空間的設(shè)計(jì)與施工過程可稱之為凈化工程。功能溫度測試主要用于無塵車間，當(dāng)溫度精度需要嚴(yán)格控制或施工人員需要靜態(tài)或動態(tài)測試時，一般溫度測試主要用于空氣溫度測試。
功能溫度測試的無塵車間、潔凈區(qū)域應(yīng)劃分為相等的區(qū)域網(wǎng)格,每個網(wǎng)格面積不得超過100平方米,或者應(yīng)當(dāng)通過談判確定建設(shè)黨,每個網(wǎng)格測量點(diǎn)應(yīng)大于1,和每個房間都有至少2點(diǎn)測量。工作面高度、頂距、墻體、地面應(yīng)不小于300mm，并考慮熱源的影響。測量時間至少為1H，至少一次為6min，讀數(shù)穩(wěn)定后記錄。測點(diǎn)高度應(yīng)為工作面高度，測量時間不少于1H，測量時間不少于一次，連續(xù)6分鐘。讀數(shù)穩(wěn)定后記錄。
無塵車間濕度測試:濕度測試可通濕、干球濕度計(jì)、電容式濕度計(jì)、數(shù)字式濕度計(jì)、毛發(fā)式濕度計(jì)。
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